<壓電平移臺-壓電馬達線性平移臺
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壓電馬達線性平移臺

簡要描述:U-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。
該平移臺采用無聲的超聲波馬達,超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子,在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發產生超聲波振動,促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動,每個循環的進給為幾個納米,高頻的信號,可以使轉子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的Z大速度可達到400m

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  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-06-02
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納米級高速大行程壓電馬達平移臺

 

AU-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。

該平移臺采用無聲的超聲波馬達,超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子,在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發產生超聲波振動,促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動,每個循環的進給為幾個納米,高頻的信號,可以使轉子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s。

理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉子的長度,因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm,采用線性編碼器位置傳感器閉環控制,使位移平臺的位移分辨率可達到78nm,在滿足大行程的同時實現了高的精度。由于壓電陶瓷已經加載了預加力,因此斷電之后平移臺會有自鎖功能,使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產熱量,提高了位移平臺的精度。

此外,由于該平臺采用模塊化設計,因此該平移臺可以組成多維位移平臺,并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

 

主要特點:

l  大行程 (92mm)

l  高精度(78nm)

l  高速度(400mm/s

l  支持斷電自鎖

l  可在真空和非磁環境

主要應用:

l  光電子學

l  掃描電子顯微鏡

l  半導體生產

l  醫學和材料科學

l  生命科學與生物技術學

l  顯微鏡和計量學

 

產品參數:

 

AU-XLS

Minimum travel range

19 mm

Maximum travel range:

92 mm

Load capacity

< 1kg

Holding / driving force

~ 1N

Min. step size

500nm [standard encoder] / 78nm [precision   encoder]

Max. speed

400mm/s

Min. speed

1mm/s

Constant speed

+/- 1% at typical scan speed

Lifespan

> 100 km (typical)

 

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納米級高速大行程壓電馬達平移臺

 

AU-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。

該平移臺采用無聲的超聲波馬達,超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子,在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發產生超聲波振動,促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動,每個循環的進給為幾個納米,高頻的信號,可以使轉子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的zui大速度可達到400mm/s。

理論上壓電馬達平移臺的行程僅取決于轉子的長度,因此AU-XLS系列位移平臺可提供的行程范圍可達94mm,采用線性編碼器位置傳感器閉環控制,使位移平臺的位移分辨率可達到78nm,在滿足大行程的同時實現了高的精度。由于壓電陶瓷已經加載了預加力,因此斷電之后平移臺會有自鎖功能,使位移平臺依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產熱量,提高了位移平臺的精度。

此外,由于該平臺采用模塊化設計,因此該平移臺可以組成多維位移平臺,并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺。

 

主要特點:

l  大行程 (92mm)

l  高精度(78nm)

l  高速度(400mm/s

l  支持斷電自鎖

l  可在真空和非磁環境

主要應用:

l  光電子學

l  掃描電子顯微鏡

l  半導體生產

l  醫學和材料科學

l  生命科學與生物技術學

l  顯微鏡和計量學

 

產品參數:

 

AU-XLS

Minimum travel range

19 mm

Maximum travel range:

92 mm

Load capacity

< 1kg

Holding / driving force

~ 1N

Min. step size

500nm [standard encoder] / 78nm [precision   encoder]

Max. speed

400mm/s

Min. speed

1mm/s

Constant speed

+/- 1% at typical scan speed

Lifespan

> 100 km (typical)

 

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