<單軸壓電掃描臺/納米平移臺-上海昊量光電設備有限公司
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單軸壓電掃描臺/納米平移臺

簡要描述:單軸壓電掃描臺/納米平移臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其結構緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-06-02
  • 訪  問  量:2382
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詳細介紹

單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點。全行程采用電容位移傳感器閉環反饋設計,精度可達到亞納米量級。結合數字閉環控制器,納米定位工作臺的響應時間和穩定時間可達到毫秒量級。

 

 

Nanopositioning Stages 亞納米定位工作臺 微定位工作臺 微動臺 壓電精密定位系統,納米平移臺,納米定位臺,納米掃描臺,壓電平移臺

 

 

單軸壓電掃描臺/納米平移臺

AU-NPS-X系列納米定位工作臺zui初的設計是為了滿足超快速度和超精密的應用。納米定位工作臺采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其結構緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。

 

全行程采用電容位移傳感器閉環反饋控制系統設計,電容位移傳感器是將位移變化轉換為電容電量信號的變化。電容位移傳感器簡單易用,而且擁有*的精度,可達到亞納米量級。結合數字閉環控制器,納米定位工作臺的響應時間和穩定時間可達到毫秒量級。低的移動質量和高的剛度結合可以提供非常高的帶寬。

 

對于大行程的納米定位臺,采用目前業內zui*的雙傳感技術與以往相比可以提供更快的響應速度,提高有效載荷出現變化時的穩定性和更高的帶寬。這項突破性的技術能夠應用于各種袖珍模擬和數字控制器,其操作簡便,為用戶提供*性能。

 

公司的一維納米定位工作臺主要包含以下幾款產品:

 

①超緊湊型閉環亞納米微動臺

 

 

AU-NPS-X-5A一款已推出市面上體積zui小的閉環一微亞納米級別的微動臺。體積只有23 x 16.5 x 7.6 mm(長´´高)。應用電容位移傳感器,位移分辨率達到亞納米級別??蛰d下的自振頻率更是高達8000HZ。采用鋁合金材質,其擁有較輕的質量和高的剛度,使其有高的帶寬,在zui大負載的情況下響應時間可達到亞毫秒級別。

 

 

 

 

 

超快一維亞納米定位平臺

 

 

AU-NPS-X-10A是一款超快的一維亞納米微動臺,用于高速的、超精密的應用。該設備在空載下的自振頻率高達9500HZ。在7g負載的情況下仍可達到8700HZ。并且該產品具有良好的位置重復性。擁有良好的響應速度,響應時間達到毫秒量級。并且該款產品可按照不同需求進行工業定制。

 

 

 

超大行程的一維納米微動臺

AU-NPS-X-500A采用壓電陶瓷直推驅動,以柔性鉸鏈為運動副,使其具有較緊湊的體積,使用電容傳感器,在整個行程中分辨率精度可高達亞納米級別。使用雙傳感設計,可提供更快的階躍響應,提高有效載荷出現變化時的穩定性,并擁有更大的帶寬,使其擁有更快的響應時間。

 

高負載大推力一維亞納米微動臺

 

AU-NPS-X-30B是一款高負載的微動臺,zui高負載可高達10kg。其擁有極寬的帶寬高達1KHZ??蛰d下的自振頻率更是高達5000HZ。

 

 

 

 

除了以上幾款產品AU-NPS-X-15A/15D這兩款亞納米一維微動臺也擁有優異的性能。外加負載可高達5kg。擁有較高的帶寬,在50g負載的情況下,響應時間可達毫秒量級。AU-NPS-X-15DAU-NPS-X-15A屬于相同型號,但是具有更高的高度(15.5mm),因此擁有更高的剛度,因此具有較寬的帶寬、較低的穩定時間和較高的自振頻率。

 

 

u  主要特點

  • 亞納米的分辨率
  • 高的帶寬
  • 高速響應
  • 高的可靠性
  • 結構緊湊
  • 壓電陶瓷驅動
  • 柔性鉸鏈設計
  • 電容位移傳感器閉環反饋

 

 

 

u  主要應用

  磁頭和磁盤驅動測試、計量學、干涉度量學、原子力顯微鏡等

 

 

 

 

u  產品主要參數

 

 

型號

參數

AU-NPS-X-5A

AU-NPS-X-15A

AU-NPS-X-15D

AU-NPS-X-500A

AU-NPS-X-30B

AU-OEM-X-10A

Material

Aluminium

Stainless steel 316

Stainless steel 316

Titanium &

Aluminium Alloy

Titanium

Titanium

Size

 

23 long x 16.5 wide x 7.6 high

60 long x 40 wide x 13.5 high

60 long x 40 wide x 15.5 high

60 x 60 x 20

60 long x 40 wide x 15.5 high

62 long x 40 wide x 22 high

Range (mm)

Minimum

 

± 7.5

± 7.5

500 

± 15 

± 5

Typical

6.5

± 8

± 8

 

 

± 6

Maximum

 

 

 

 

 

 

Resonant frequency: 0g load

Minimum

 

3000 HZ

3500 HZ

260 HZ

4500 HZ

 

Typical

8000 HZ

 

 

5000 HZ

9500 HZ

Maximum

 

 

 

 

 

Resolution

sub-nanometer

1 nm

sub-nanometer

Maximum load

5 g

5 kg

5 kg

1 kg

10 kg

0.2 kg

Position noise(1σ ) /nmrms

Fast

 

0.2

0.2

 

0.12

0.05

Medium

0.1

0.1

0.1

0.09

0.07

Slow

 

0.05

0.05

0.04

0.1

Linearity error (peak)/%

Minimum

 

 

 

 

 

 

Typical

0.1

0.01

0.01

0.02

0.01

0.01

Maximum

0.2

0.02

0.02

 

0.02

0.02

          

 

 

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